[发明专利]增强液压系统摩擦副耐磨特性的方法及液压系统摩擦副、液压系统有效
| 申请号： | 201710348319.7 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107245697B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 何永勇;赵军;王永富;毛俊元;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02;C23C4/134;C23C4/10;C23C16/34;C23C16/40;C23C28/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵天月 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了增强液压系统摩擦副耐磨特性的方法及液压系统摩擦副、液压系统。液压系统摩擦副包括第一配副和第二配副，所述方法包括：对第一配副的基体进行清洁处理，得到洁净的基体；在洁净的基体表面形成金属氮化物过渡层；在金属氮化物过渡层表面形成类富勒烯碳涂层。由此，第一配副基体表面形成厚度均匀，致密的涂层，且涂层表面粗糙度达到纳米量级，与基体的结合强度高，耐磨性强，可以大大增强液压系统摩擦副的耐磨特性。 | ||
| 搜索关键词： | 增强 液压 系统 摩擦 耐磨 特性 方法 | ||
【主权项】：
1.一种增强液压系统摩擦副耐磨特性的方法，其特征在于，所述液压系统摩擦副包括第一配副和第二配副，所述方法包括：对所述第一配副的基体进行清洁处理，得到洁净的基体；通过磁控溅射气相沉积方法在所述洁净的基体表面形成金属氮化物过渡层；通过磁控溅射气相沉积方法在所述金属氮化物过渡层表面形成类富勒烯碳涂层；在所述第二配副的基体表面形成氧化铝涂层或氮化硅涂层；其中，沉积所述金属氮化物过渡层的条件为：靶材为金属材料，偏压为400～1000V，工作气体为氩气和氮气，气压为5～10Pa，沉积时间为15～45分钟；沉积所述类富勒烯碳涂层的条件为：工作气体为甲烷和氢气，气压为5～10Pa，沉积时间为150～300分钟。
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