[发明专利]磁控溅射腔室及托盘位置误差检测方法

摘要

一种磁控溅射腔室以及通过该磁控溅射腔室实现的托盘位置误差检测方法。磁控溅射腔室、设置于腔体内的基座、旋转轴、传输臂、托盘和检测传感器，以基座所在平面为投影面，预设旋转轴和基座的中心在投影面上的连线为lo，预设传输臂与lo重合时的位置为第一极限位置，预设在第二极限位置时传输臂与lo的夹角为Ф；检测传感器与旋转轴的距离L满足以下关系式：R‑rLR+r；检测传感器和旋转轴的连线le与lo之间的夹角θ满足以下关系式：0θФ；且检测传感器与基座中心的距离大于r，且其与传输臂位于第二极限位置时托盘中心的距离大于r。本发明通过在本发明设定的位置设置一组检测传感器，即可实现托盘位置误差的准确检测。

主权项

1.一种磁控溅射腔室，包括腔体、设置于所述腔体内的基座、旋转轴、传输臂、托盘和检测传感器，其中，所述传输臂与所述旋转轴连接，所述托盘置于所述传输臂的一端，所述旋转轴带动所述传输臂在所述腔体内转动，以带动所述托盘在所述腔体内移动，其特征在于，以所述基座所在平面为投影面，将所述旋转轴、所述传输臂、所述托盘和所述检测传感器投影至所述投影面上；预设所述旋转轴和所述基座的中心在所述投影面上的连线为lo，预设所述传输臂与所述lo重合时的位置为第一极限位置，预设在第二极限位置时所述传输臂与所述lo的夹角为Ф，所述传输臂在第一极限位置与第二极限位置之间转动；所述检测传感器与所述旋转轴的距离L满足以下关系式：R‑r

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