[发明专利]具有抗过载能力的压阻式三轴加速度传感器及制备方法

摘要

本发明公开了一种具有抗过载能力的压阻式三轴加速度传感器，包括基片，所述基片的中心刻蚀出质量块（1）和八个矩形梁（2），所述质量块（1）上部边缘四边通过矩形梁（2）与基片一体连接，即质量块（1）右边通过梁L1和梁L2与基片边框连接、其上边通过梁L3和梁L4与基片边框连接、其左边通过梁L5和梁L6与基片边框连接、其下边通过梁L7和梁L8与基片边框连接；则，梁与梁之间、质量块边缘与基片之间、梁与基片之间均留有抗过载间隙（6）。本发明通过限制质量块的移动位移实现了三轴加速度传感器在笛卡尔坐标系中X、Y和Z三个方向的抗过载。

主权项

一种具有抗过载能力的压阻式三轴加速度传感器，其特征在于：包括基片，所述基片的中心刻蚀出质量块（1）和八个矩形梁（2），所述质量块（1）上部边缘四边通过矩形梁（2）与基片一体连接，即质量块（1）右边通过梁L1和梁L2与基片边框连接、其上边通过梁L3和梁L4与基片边框连接、其左边通过梁L5和梁L6与基片边框连接、其下边通过梁L7和梁L8与基片边框连接；则，梁与梁之间、质量块边缘与基片之间、梁与基片之间均留有抗过载间隙（6）；八个矩形梁的每个梁上分布有两个压敏电阻（3），每个压敏电阻（3）的两端分别通过金属引线（4）与位于基片边缘的相应焊盘（5）连接；所述基片底面和顶面均键合有盖板，所述质量块和盖板之间留有抗过载间隙；压敏电阻在八个矩形梁上的分布如下：所述梁L1的内端设有压敏电阻X4、其外端设有压敏电阻H3，所述梁L2的内端设有压敏电阻Z1、其外端设有压敏电阻X2，所述梁L3的内端设有压敏电阻Y4、其外端设有压敏电阻Z3，所述梁L4的内端设有压敏电阻H1、其外端设有压敏电阻Y2，所述梁L5的内端设有压敏电阻H4、其外端设有压敏电阻X1，所述梁L6的内端设有压敏电阻X3、其外端设有压敏电阻Z2，所述梁L7的内端设有压敏电阻Z4、其外端设有压敏电阻Y1，所述梁L8的内端设有压敏电阻Y3、其外端设有压敏电阻H3；其中，压敏电阻X1、X2、X3、X4组成检测笛卡尔坐标系中X方向加速度的惠斯通电桥；压敏电阻标Y1、Y2、Y3、Y4组成检测笛卡尔坐标系中Y方向加速度的惠斯通电桥；压敏电阻Z1、Z2、Z3、Z4和压敏电阻H1、H2、H3、H4组成检测笛卡尔坐标系中Z方向加速度的惠斯通电桥，即压敏电阻Z1和H1构成电桥的一个臂，压敏电阻Z2和H2构成电桥的一个臂，压敏电阻Z3和H3构成电桥的一个臂，压敏电阻Z4和H4构成电桥的一个臂。