[发明专利]一种旋转铌靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201710350812.2 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107130216B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 罗永春;胥小勇;石煜;曾墩风;王志强;雷雨;江涛 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 胡定华 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种旋转铌靶材及其制备方法，所述旋转铌靶材为铌材料喷涂二次，所述旋转铌靶材的密度为7.6‑8.2g/cm³，所述旋转铌靶材的氧含量为3000‑6000ppm，所述旋转铌靶材的氮含量为2000‑12000ppm。通过等离子喷涂方法对铌靶材进行制备，提高制备效率，并且减少制备成本，尽量缩小晶粒尺寸，并且便于对使用后的残靶材进行修补，并且通过对铌靶材的氧氮含量进行控制，提升铌靶材的制造质量。 | ||
| 搜索关键词： | 铌靶 制备 等离子喷涂 晶粒 铌材料 靶材 喷涂 氧氮 修补 制造 | ||
【主权项】：
1.一种旋转铌靶材的制备方法，其特征在于：所述旋转铌靶材的密度为7.6‑8.2g/cm3，所述旋转铌靶材的氧含量为3000‑6000ppm，所述旋转铌靶材的氮含量为2000‑12000ppm，所述旋转铌靶材的晶粒尺寸≤15μm，所述制备方法步骤如下：步骤一：将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；步骤二：使用热喷涂设备将铌粉末或铌丝喷涂在基体表面；步骤三：对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
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