[发明专利]一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置在审
| 申请号： | 201710350899.3 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107059013A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 曾旭;梁泰频 | 申请（专利权）人： | 宁波东盛集成电路元件有限公司;宁波东顺电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25B1/26;C25B9/08 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，包括一用于溶解食盐的溶盐槽；一用于提供电解食盐水的盐水高位槽，盐水高位槽与溶盐槽连通；一用于提供稀盐酸的盐酸槽；以及一用于通入食盐水和稀盐酸在电流的作用下产生电化学反应、Cl‑被氧化为Cl2并输出至三氯化铁刻蚀液使用的电解槽。本发明用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，与其他电解装置相比，减少了废液的排放(环境的污染)节约了处理废液的成本，确保了刻蚀液中三氯化铁的稳定性，大大减少了废液的排放，提高了三氯化铁的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氯化铁 刻蚀 再生 循环 电解 装置 | ||
【主权项】：
一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，包括：一用于溶解食盐的溶盐槽(1)；一用于提供电解食盐水的盐水高位槽(3)，所述盐水高位槽(3)与所述溶盐槽(1)连通；一用于提供稀盐酸的盐酸槽；以及一用于通入食盐水和稀盐酸在电流的作用下产生电化学反应、Cl‑被氧化为Cl2并输出至三氯化铁刻蚀液使用的电解槽(7)。
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