[发明专利]一种低温真空蒸发源

摘要

本发明公开了一种低温真空蒸发源，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统、连接组件；该装置中电极通电对加热系统的灯丝加热，当其温度达到坩埚内物质的升华温度时，源物质开始蒸发，蒸发出的气体分子在真空腔体内发射到待镀膜的基体上，可实现对碱金属和有机化合物的蒸发；测温系统的热电偶通过电偶丝传导检测实时蒸发温度，冷却系统的进水管通入冷却水，通过冷却罩内部的水循环对坩埚降温，达到低温蒸发的效果；坩埚口上面的旋转挡板可通过手动杆调节控制蒸发出的物质是否对基体镀膜。

主权项

一种低温真空蒸发源，其特征在于，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统、连接组件；所述加热系统包括：电极端口(8)、加热灯丝(16)、屏蔽罩(13)、坩埚(14)、固定环(15)、底片(17)和电极连接件(11)；其中，加热灯丝(16)与多个固定环(15)围成中空筒状加热芯，屏蔽罩(13)罩于加热芯外部，坩埚(14)嵌入于加热芯顶部，底片(17)固定于加热芯底端，加热灯丝(16)伸出的供电接头通过电极连接件(11)与电极端口(8)伸出的供电线连接；所述冷却系统包括：冷却罩(20)、进水管(18)、出水管(19)、进水管接头(3)和出水管接头(9)；所述冷却罩(20)罩置于屏蔽罩(13)外部，冷却罩(20)本体为内外两层罩壁之间带有密闭柱形腔的带腔罩体；其中，进水管(18)一端伸入于与冷却罩(20)的柱形腔的入口位置，另一端与进水管接头(3)连接；出水管(19)一端伸入于却罩(20)的柱形腔的出口位置，另一端与出水管接头(9)连接；所述测温系统包括：电偶丝(6)和热电偶测温器接入口(2)；所述电偶丝(6)一端穿过底片上预设的小孔置于坩埚(14)底端1‑3mm处，一端用螺栓与热电偶测温器接入口(2)连接；所述控制系统包括：旋转挡板(7)和波纹管旋转导入器(1)；所述旋转导入器(1)穿过冷却罩(20)，且其顶端超出冷却罩(12)顶端5‑10mm，所述旋转挡板(7)用螺母固定在回转杆上距冷却罩(12)顶端3‑6mm；所述连接组件包括：法兰(4)和固定片(10)；所述法兰(4)一侧焊接进水管接口(3)、出水管接口(9)、电极端口(8)、热电偶测温器接口(2)、旋转导入器(1)，其余上述部件均设置于法兰(4)的另一侧；其中，电极端口(8)伸出的两条供电线之间设置有用于保持间距并限位的固定片(11)。