[发明专利]工件的板厚计测用窗结构有效
| 申请号： | 201710352370.5 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107414666B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 小池喜雄;井上裕介;吉原秀明 | 申请（专利权）人： | 创技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/07 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够将窗部件稳定地固定在定盘的表面上的工件的板厚计测用窗结构。工件的板厚计测用窗结构(1)具备：计测孔(2)，其贯穿用于研磨薄板状的工件(W)的研磨装置(201)的上定盘(211)的上下表面(211a、211b)；以及窗部件(3)，其被插入在计测孔(2)中。窗部件(3)具有：筒状部(31)，其下端侧被插入在计测孔(2)中；以及具有透光性的窗板(32)，其被设置在筒状部(31)的下端处。工件的板厚计测用窗结构(1)还具备：固定部(4)，其以面接触的方式而对筒状部(31)的上端侧的外周面(31a)进行保持并被固定在上定盘(211)的上表面(211a)上。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 板厚计测用窗 结构 | ||
【主权项】：
一种工件的板厚计测用窗结构，其特征在于，具备：计测孔，其贯穿对薄板状的工件进行研磨的研磨装置的定盘的表面和背面；窗部件，其具有一端侧被插入至所述计测孔中的筒状部、及设置在所述筒状部的一端处的具有透光性的窗板；以及固定部，其以面接触的方式而对所述筒状部的另一端侧的外周面进行保持并被固定在所述定盘的表面上。
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