[发明专利]基底片存储器有效
| 申请号： | 201710352551.8 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106945916B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 吴功 | 申请（专利权）人： | 上海大族富创得科技有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/02 | 分类号： | B65D25/02;B65D25/38 |
| 代理公司： | 上海翰信知识产权代理事务所(普通合伙) 31270 | 代理人： | 张维东 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种基底片存储器，包括承载机构和输送机构，承载机构具有多个凹槽，多个凹槽沿着承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个凹槽分别对应一个基底片，输送机构用来带动凹槽沿着承载机构的长度方向移动，便于基底片的抓取或存放，通过凹槽将基底片分隔开来，有效避免了基底片的相互吸附，造成连带情况的出现。 | ||
| 搜索关键词： | 基底片 承载机构 输送机构 存储器 长度方向移动 抓取 阵列设置 连带 吸附 分隔 | ||
【主权项】：
1.一种基底片存储器，其特征在于，包括：承载机构，所述承载机构具有多个凹槽(101)，多个所述凹槽(101)沿着所述承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个所述凹槽(101)分别对应一个基底片；输送机构，所述输送机构用来带动所述凹槽(101)沿着所述承载机构的长度方向移动；其中，所述承载机构为齿形皮带(100)，所述齿形皮带(100)的齿槽为所述凹槽(101)；还包括两个滚筒(300)、一个安装架(200)和一个固定架(600)，所述安装架(200)的一端固定在所述固定架(600)上，所述安装架(200)的另一端为自由端，所述安装架(200)的两端分别设置有一所述滚筒(300)，两个所述滚筒(300)之间通过所述齿形皮带(100)传动连接，所述齿形皮带(100)的齿槽朝外设置；所述输送机构包括动力装置、执行机构(500)和底板(400)，所述执行机构(500)的一端连接所述动力装置，另一端穿过所述固定架(600)与所述底板(400)连接，所述底板(400)与所述齿形皮带(100)连接，所述动力装置带动所述执行机构(500)伸缩，进而带动所述齿形皮带(100)转动；所述基底片为晶圆片(700)；所述晶圆片(700)呈方形，呈方形的所述晶圆片(700)每一边分别至少对应一个所述承载机构。
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