[发明专利]气体传感器有效
| 申请号： | 201710353023.4 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108132330B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | O·勒内尔;A·勒罗施;A·莱拉利亚;R·山卡尔 | 申请（专利权）人： | 意法半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张昊 |
| 地址： | 新加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及气体传感器，该气体传感器包括有源传感器区域，该有源传感器区域被暴露于环境下以便检测元素。该气体传感器可以是可被固定就位或者由用户携带的空气质量传感器。该气体传感器包括在腔室上方形成的加热器。该气体传感器包括在该加热器上方的形成该有源传感器区域的有源传感器层。该气体传感器可包括诸如热板等无源导电层，该无源导电层进一步将热从该加热器传导并且分布至该有源传感器区域。该加热器可包括多个延伸件。该加热器还可包括第一导电层以及在该第一导电层上的第二导电层，其中，该第二导电层包括多个开口，该多个开口用于增加热量并且更均匀地将热从加热器分布至该有源传感器区域。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种器件，包括：衬底；加热器，其形成在所述衬底上，所述加热器具有：第一主要部分，其在第一方向上延伸；多个第二部分，其在第二方向上从所述第一主要部分延伸，所述第二方向横向于所述第一方向；以及有源传感器区域，其在所述加热器上方。
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