[发明专利]一种用于压印模板的真空沉积装置有效
| 申请号： | 201710354493.2 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107119259B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 32232 苏州华博知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄丽莉 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于压印模板的真空沉积装置，其包括：壳体，在壳体上设有一密封空腔，压印模板放置于该密封空腔内，在壳体上设有与密封空腔连通的药品接口，气态的FDTS从该药品接口进入密封空腔内；抽真空组件，包括：与密封空腔连通的真空接口以及与真空接口连接的抽真空装置。本发明一种用于压印模板的真空沉积装置，其结构简单，操作便捷，可以有效在压印模板表面均匀附着一层FDTS膜，降低压印模板的表面能，提高其疏水性。 | ||
| 搜索关键词： | 密封空腔 压印模板 壳体 真空沉积装置 真空接口 连通 抽真空装置 抽真空组件 均匀附着 表面能 疏水性 | ||
【主权项】：
1.一种用于压印模板的真空沉积装置，其特征在于，包括：/n壳体，在所述壳体上设有一密封空腔，压印模板放置于该密封空腔内，在所述壳体上设有与所述密封空腔连通的药品接口，气态的FDTS从该药品接口进入所述密封空腔内；/n抽真空组件，包括：与所述密封空腔连通的真空接口以及与所述真空接口连接的抽真空装置；/n还包括：药品储存罐以及用于给所述药品储存罐加热的加热组件，所述药品储存罐通过连接管与所述药品接口连通，所述药品储存罐内盛放液态的FDTS，所述加热组件为加热管，所述药品储存罐与所述连接管通过所述加热管连接。/n
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