[发明专利]用于分批向内装载和向外卸载基底的真空处理设备及方法有效
| 申请号： | 201710359308.9 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN107447199B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托夫·霍伊斯勒;拉尔夫·西伯特 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王小衡;王朝辉 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据不同的实施方式提供一种真空处理设备(100)，其具有装卸腔室装置(102)、转运腔室装置(112)和处理腔室装置(122)，其中，转运腔室装置(112)具有转运腔室，该转运腔室具有用于在转运腔室中容纳基底的长度，且其中，装卸腔室装置(102)具有三个彼此邻接的装卸腔室(102a、102b、102c)，所述装卸腔室这样地被设置，即其可分别单独借助于阀装置(104)分开，其中，装卸腔室中的每个装卸腔室具有比转运腔室更小的长度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 分批 向内 装载 向外 卸载 基底 真空 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种真空处理设备(100)，其具有：装卸腔室装置(102)，该装卸腔室装置用于将基底(520)向内装载到处理腔室装置(122)中，或用于将基底(520)从处理腔室装置(122)向外卸载；以及在装卸腔室装置(102)与处理腔室装置(122)之间的转运腔室装置(112)，所述转运腔室装置用于在处理腔室装置(122)中提供由分批借助于装卸腔室装置(102)向内装载的基底构成的连续序列的基底，或用于将连续序列的基底分开，从而借助于装卸腔室装置(102)将基底分批向外卸载；其中，转运腔室装置(112)具有转运腔室，该转运腔室具有用于在转运腔室中容纳基底的长度，以及其中，装卸腔室装置(102)具有三个彼此邻接的装卸腔室(102a、102b、102c)，所述装卸腔室被设置成，使其可分别单独借助于阀装置(104)分开，其中，装卸腔室中的每个的长度小于转运腔室。
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