[发明专利]一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置及方法在审
申请号: | 201710361701.1 | 申请日: | 2017-05-22 |
公开(公告)号: | CN107219233A | 公开(公告)日: | 2017-09-29 |
发明(设计)人: | 龚冰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 吴大建,何娇 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置,包括,光感应系统、玻璃基板加工单元以及控制所述光感应系统和玻璃基板加工单元的中央控制系统;其中,所述光感应系统设置在玻璃基板加工单元入口处,玻璃基板进入玻璃基板加工单元时接触光感应系统,光感应系统将信号反馈至中央控制系统。通过检测发射器发出的光是否能量变化来判断玻璃基板被检测区域是否有裂纹或破损,并停止玻璃基板加工单元运行,有效排除了裂纹破碎的玻璃基板,提高产品的制程良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 玻璃 破损 裂纹 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置,其特征在于,包括,光感应系统、玻璃基板加工单元以及控制所述光感应系统和玻璃基板加工单元的中央控制系统;其中,所述光感应系统设置在玻璃基板加工单元入口处,玻璃基板进入玻璃基板加工单元时光感应系统得到感应,将感应信号反馈至中央控制系统。
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