[发明专利]光罩卡夹清洁装置及曝光机

摘要

本发明涉及一种光罩卡夹清洁装置及曝光机，涉及液晶显示器技术领域，用于解决现有技术中存在的清洁效率低以及清洁程度不够彻底的技术问题。本发明的光罩卡夹清洁装置，包括吸附部件，该吸附部件固定于曝光机上用于容纳光罩卡夹的光罩交换腔处，当执行上机或下机动作时，吸附部件能够迅速地将光罩卡夹上的异物吸走，因此通过该吸附部件可提高清洁的效率；此外，对于光罩卡夹从光罩交换腔的开口处运动到完全进入光罩交换腔中的这一过程而言，随着光罩卡夹的运动，吸附部件进行扫描式吸附，因此能够对光罩卡夹进行彻底的清洁，使产品的品质得到了保障。

主权项

一种光罩卡夹清洁装置，其特征在于，包括吸附部件(1)，所述吸附部件(1)固定于光罩交换腔(21)的开口处，所述光罩交换腔(21)用于容纳光罩卡夹(3)；所述吸附部件(1)的吸附面朝向所述光罩卡夹(3)的表面设置。