[发明专利]一种大口径光学元件的微挠性结构宏微结合精调装置有效
| 申请号： | 201710367072.3 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107121748B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 秦廷海;全旭松;刘长春;陈海平;罗欢;叶海仙;熊召 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 仇蕾安;郭德忠 |
| 地址： | 621054*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大口径光学元件的微挠性结构宏微结合精调装置，该装置包括基板、光学元件、盖板、盖板螺钉和微挠性精调模块；光学元件通过其自身的正面与基板内的三个支撑面接触安装，盖板通过盖板螺钉将光学元件固定在底框内部，微挠性精调模块安装在盖板上，微挠性精调模块采用宏动调节和微动调节相结合的方式来进行光学元件面型的调节，采用弹簧作为宏动调节的主要零件实现对光学元件面型的初步调节，采用微挠性结构件作为微动调节的主要零件实现对光学元件面型的精确调节。本发明的微挠性结构件能够将运动输入的调整精度进行放大，使得微挠性结构件的输出调整精度大大提高，宏动调节过程和微动调节过程互不影响，具有较大的工程实用意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 光学 元件 微挠性 结构 结合 装置 | ||
【主权项】：
一种大口径光学元件的微挠性结构宏微结合精调装置，其特征在于，该装置包括基板、光学元件、盖板、盖板螺钉和微挠性精调模块；所述光学元件通过其自身的正面与基板内的三个支撑面接触安装，所述盖板通过盖板螺钉将光学元件固定在底框内部，所述微挠性精调模块安装在盖板上，微挠性精调模块采用宏动调节和微动调节相结合的方式来进行光学元件面型的调节，采用弹簧作为宏动调节的主要零件实现对光学元件面型的初步调节，采用微挠性结构件作为微动调节的主要零件实现对光学元件面型的精确调节。
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