[发明专利]一种材料表面处理装置及方法

摘要

本发明涉及一种材料表面处理装置和方法。其特征为通过П型阴极在机箱内部形成非隔离的完整等离子空间，将待处理产品一次性完全放置上述空间内，此П型阴极是一种由多面、非平行布置的电极板组成的空心阴极结构，П型阴极通过固定装置放置于机箱内，与进电结构的连接面和进电结构的轴线呈非平行设置，П型阴极和进电结构之夹层用绝缘材料阻隔，绝缘材料与П型阴极尺寸配对耦合，且П型阴极位于绝缘材料内侧面上，上述材料表面处理装置的机箱内为真空腔，由位置盖板进行密封。本发明节省人力、提高生产效率、可适用多种规格待处理产品的等离子处理的装置，自动化程度高；阴极板(或阳极板)数量可根据适用场合要求设置，便于提高极板的使用寿命。

主权项

一种材料表面处理装置，其特征在于：包括机箱、进电结构和П型阴极，通过П型阴极可以在机箱内部形成非隔离的完整等离子空间，能将待处理产品一次性完全放置上述空间内，所述П型阴极是一种由多面、非平行布置的电极板组成的空心阴极结构，上述П型阴极通过固定装置放置于机箱内，与进电结构的连接面和进电结构的轴线呈非平行设置，所述П型阴极和进电结构之夹层采用绝缘材料阻隔，所述绝缘材料与所述П型阴极尺寸配对耦合，且所述П型阴极位于所述绝缘材料内侧面上，上述材料表面处理装置的机箱内为真空腔，由位置盖板进行密封。