[发明专利]微机械的传感器和用于制造微机械的传感器的方法有效
| 申请号： | 201710369579.2 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107422146B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | B.P.赫措根拉特;J.克拉森 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 梁冰;宣力伟 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机械的传感器（100），其中，表面微机械地能够制造所述微机械的传感器（100），具有至少一个构造在第三功能层（60）中的质量元件，该质量元件至少以区段的方式未被穿孔地构造；其中，在所述质量元件下方的缝隙（S）通过去除第二功能层（30）和至少一个氧化层（20）来制造；其中，所述至少一个氧化层（20）的去除借助于把气态的蚀刻介质引入到经限定数量的基本上彼此平行布置的蚀刻通道中来进行；其中，所述蚀刻通道与在第三功能层（60）中的竖直的进入通道能够连接。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机械的传感器（100），其中，表面微机械地能够制造所述微机械的传感器（100），该传感器具有至少一个构造在第三功能层（60）中的质量元件，该质量元件至少以区段的方式未被穿孔地构造；其中，在所述质量元件下方通过去除第二功能层（30）和至少一个氧化层（20）能够制造缝隙（S）；其中，所述至少一个氧化层（20）的去除借助于把气态的蚀刻介质引入到经限定数量的基本上彼此平行布置的蚀刻通道中来进行；其中，所述蚀刻通道与在所述第三功能层（60）中的竖直的进入通道能够连接。
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