[发明专利]一种光刻胶供应装置

摘要

本发明提供了一种光刻胶供应装置，包括通过管道顺次连接的设置有第一气体通道的第一存储装置、设置有第二气体通道的消耗侦测装置、设置有第三气体通道的第二存储装置和泵浦。所述第二气体通道设置有第一阀门，所述第三气体通道设置有第二阀门，所述消耗侦测装置与所述第二存储装置之间还设置有第三阀门。当第一存储装置报空时，第一阀门开启，避免了大气与消耗侦测装置内的光刻胶直接接触而污染光刻胶，并且，光刻胶也不能通过第一气体通道流出污染机台；当光刻胶供应装置前段发生故障无法工作时，第二阀门开启，第三阀门关闭，利用第二存储装置中的光刻胶继续作业，在工作人员排除故障时机台产量不减少。

主权项

一种光刻胶供应装置，用于向一喷嘴提供光刻胶，其特征在于，所述光刻胶供应装置包括：通过管道顺次连接的第一存储装置、消耗侦测装置、第二存储装置和泵浦，所述第一存储装置、消耗侦测装置和第二存储装置均用于存储光刻胶，所述泵浦用于将光刻胶抽至所述喷嘴；其中，所述第一存储装置上设置有第一气体通道；所述消耗侦测装置上设置有第二气体通道，或者，所述第一存储装置与所述消耗侦测装置之间的管道上设置有第二气体通道，所述第二气体通道上设置有第一阀门；所述第二存储装置上设置有第三气体通道，或者，所述消耗侦测装置与所述第二存储装置之间的管道上设置有第三气体通道，所述第三气体通道上设置有第二阀门；所述消耗侦测装置与所述第二储存装置之间的管道上设置有第三阀门。