[发明专利]柔性阵列基板的制作方法有效
申请号: | 201710370204.8 | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN106952583B | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 陈黎暄;李泳锐 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G09F9/30 | 分类号: | G09F9/30;G02F1/1333 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种柔性阵列基板的制作方法。该方法先在刚性支撑板上连续形成层叠设置胶粘层、钝化层、背面驱动电路、平坦层、柔性衬底、以及正面驱动电路和显示电路,之后再剥离刚性支撑板和胶粘层,得到一具有双面电路结构的柔性阵列基板,整个制作过程无需进行柔性衬底的剥离、反转和再偏贴的步骤,能够避免再偏贴后柔性衬底平整性差和良率低的问题,降低具有双面电路结构的柔性阵列基板的制作难度,提升柔性阵列基板的制程良率。 | ||
搜索关键词: | 柔性 阵列 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种柔性阵列基板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤S1、提供一刚性支撑板(1),在所述刚性支撑板(1)上形成胶粘层(2),在所述胶粘层(2)上形成钝化层(3);步骤S2、在所述钝化层(3)上制作背面驱动电路(4),并在所述背面驱动电路(4)上覆盖平坦层(5);步骤S3、在所述平坦层(5)上制作柔性衬底(6);步骤S4、在所述柔性衬底(6)上形成贯穿所述柔性衬底(6)和平坦层(5)的过孔(7);步骤S5、在所述柔性衬底(6)上形成正面驱动电路(8)以及与正面驱动电路(8)电性连接的显示电路(9),所述正面驱动电路(8)通过所述过孔(7)与所述背面驱动电路(4)电性连接;步骤S6、剥离所述刚性支撑板(1)和胶粘层(2),制得柔性阵列基板;所述正面驱动电路(8)形成于所述柔性衬底(6)上预设的非显示区内,所述显示电路(9)形成于所述柔性衬底(6)上预设的显示区内,其中,所述显示区位于所述柔性衬底(6)的中央,所述非显示区域包围所述显示区域。
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