[发明专利]基于MEMS工艺的220GHz接收机有效
| 申请号： | 201710370212.2 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107017902B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 冯志红;王俊龙;杨大宝;梁士雄;张立森;赵向阳;邢东;徐鹏 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | H04B1/30 | 分类号： | H04B1/30;H04B1/18;H04B1/08;H03D7/16 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王荣君 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS工艺的220GHz接收机，涉及太赫兹技术领域。所述接收机包括通过MEMS工艺制作的Si基镀金盒体和位于所述盒体内的接收机电路，所述Si基镀金盒体包括位于内侧的Si壳体和位于Si壳体外侧的金属镀层。所述接收机的盒体为采用MEMS工艺实现的Si盒体，通过镀金实现和金属相同的功能，质量轻，大大降低了接收机的重量，且采用MEMS工艺，系统集成度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 工艺 220 ghz 接收机 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS工艺的220GHz接收机，其特征在于：包括通过MEMS工艺制作的Si基镀金盒体（1）和位于所述盒体内的接收机电路，所述Si基镀金盒体（1）包括位于内侧的Si壳体（11）和位于Si壳体（11）外侧的金属镀层（12）。
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