[发明专利]三维磁场测量组件及制备方法有效
| 申请号： | 201710372145.8 | 申请日： | 2017-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN107229021B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 王会武;张栖瑜;刘全胜;应利良;王镇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01R33/035 | 分类号： | G01R33/035 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三维磁场测量组件及制备方法，组件至少包括：衬底、制备在所述衬底上第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第一探测线圈、第二探测线圈以及第三探测线圈，其中，所述第一探测线圈与第一SQUID器件相连，且所述第一探测线圈的法线方向与X轴方向平行；所述第二探测线圈与第二SQUID器件相连，且所述第二探测线圈的法线方向与Y轴方向平行；所述第三探测线圈与第三SQUID器件相连，且所述第三探测线圈的法线方向与Z轴方向平行。本发明在同一个衬底上制备了3个SQUID器件，且每个SQUID器件探测1个空间方向的磁场，这种方法省略了现有技术组件中的立方体结构，减小了三维磁场探测组件的体积和安装难度，降低了制备成本，缩小了三个器件之间非正交性误差。 | ||
| 搜索关键词： | 探测线圈 制备 法线方向 方向平行 衬底 三维磁场测量 立方体结构 安装难度 非正交性 技术组件 空间方向 三维磁场 探测组件 省略 减小 磁场 探测 | ||
【主权项】：
1.一种三维磁场测量组件的制备方法，其特征在于，所述制备方法至少包括：首先提供一衬底，然后在所述衬底上制备第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第一探测线圈、第二探测线圈以及第三探测线圈，其中，制备的第一探测线圈与所述第一SQUID器件相连，且所述第一探测线圈的法线方向与X轴方向平行，用于测量X轴方向磁场；制备的第二探测线圈与所述第二SQUID器件相连，且所述第二探测线圈的法线方向与Y轴方向平行，用于测量Y轴方向磁场；制备的第三探测线圈与所述第三SQUID器件相连，且所述第三探测线圈的法线方向与Z轴方向平行，用于测量Z轴方向磁场。
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