[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明提供基板处理装置及基板处理方法，不仅能将基板的上表面中央部与相对面之间，还能将基板的上表面外周部与相对面之间使用处理液良好地填满，由此能够对基板的上表面实施均匀的处理液处理，该装置包括：基板保持单元，一边将基板保持为水平，一边使基板以通过基板的中央部的铅垂的旋转轴线为轴旋转；相对构件，具有与基板的上表面相对的相对面；处理液喷出单元，包括中央部喷出口和外周部喷出口，中央部喷出口在相对面与基板的上表面中央部相对地开口，外周部喷出口在相对面与基板的上表面外周部相对地开口，从中央部喷出口喷出处理液来向基板与相对面之间供给处理液，并且，从外周部喷出口喷出处理液来向基板与相对面之间补充处理液。

主权项

一种基板处理装置，其中，包括：基板保持单元，一边将基板保持为水平，一边使上述基板以通过上述基板的中央部的铅垂的旋转轴线为轴旋转；相对构件，具有与上述基板的上表面相对的相对面；以及处理液喷出单元，包括中央部喷出口和外周部喷出口，上述中央部喷出口在上述相对面与上述基板的上表面中央部相对地开口，上述外周部喷出口在上述相对面与上述基板的上表面外周部相对地开口，上述处理液喷出单元从上述中央部喷出口喷出处理液来向上述基板与上述相对面之间供给处理液，并且，从上述外周部喷出口喷出处理液来向上述基板与上述相对面之间补充处理液。