[发明专利]进气装置和包括该进气装置的腔室有效
申请号: | 201710373466.X | 申请日: | 2017-05-24 |
公开(公告)号: | CN108933074B | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 茅兴飞 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01L21/67 |
代理公司: | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人: | 孙向民;廉莉莉 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种进气装置和包括该进气装置的腔室,该进气装置包括:喷嘴,喷嘴为中空柱状,喷嘴的第一端的外周壁上设有凸出的第一轴肩,第二端的外周壁上设有凸出的第二轴肩;固定件,固定件为中空结构,在内壁上设有台阶,当喷嘴套置于固定件内时,台阶的台阶面与第一轴肩的端面相接合,固定件用于将进气装置固定至待安装件;第一密封圈,第一密封圈用于设置于第二轴肩的端面与待安装件之间;观察窗,观察窗设置于喷嘴的第一端的端面上;第二密封圈,第二密封圈设置在喷嘴的第一端的端面上的密封槽内。本发明的进气装置密封性强,安装便利。 | ||
搜索关键词: | 装置 包括 | ||
【主权项】:
1.一种进气装置,其特征在于,所述进气装置包括:喷嘴,所述喷嘴为中空柱状,所述喷嘴的第一端的外周壁上设有凸出的第一轴肩,第二端的外周壁上设有凸出的第二轴肩;固定件,所述固定件为中空结构,在内壁上设有台阶,当所述喷嘴套置于所述固定件内时,所述台阶的台阶面与所述第一轴肩的端面相接合,所述固定件用于将所述进气装置固定至待安装件;第一密封圈,所述第一密封圈用于设置于所述第二轴肩的端面与所述待安装件之间;观察窗,所述观察窗设置于所述喷嘴的第一端的端面上;第二密封圈,所述第二密封圈设置在所述喷嘴的第一端的端面上的密封槽内。
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