[发明专利]一种新型滚珠丝杠螺母内滚道型面检测装置及其方法

摘要

本发明公开了一种新型滚珠丝杠螺母内滚道型面检测装置，包括大理石平台和设置在大理石平台上的螺母夹持装置、X轴直线运动平台；所述螺母夹持装置上设置待测件，双频激光发生器发射出的激光经过光线分束器和光线直角反射镜后分别到达激光干涉仪，第一激光干涉仪用来测量工作台的横向位移；第二干涉仪和第三干涉仪作用相同，通过第二干涉仪和第三干涉仪的光线在待测件滚道上会产生漫反射，返回光线会被光电探测器所接收，随着固定于X轴直线工作台上的测量杆的移动，分别得到待测件内滚道左侧和右侧圆弧的轮廓。该测量装置具有精准度高、测量速度快、不破坏被测件、自动化程度高等优点，适合自动化检测需求。

主权项

一种新型滚珠丝杠螺母内滚道型面检测装置，其特征在于，包括大理石平台[1]和设置在大理石平台[1]上的螺母夹持装置[2]、X轴直线运动平台[17]、双频激光发生器[4]、第一激光干涉仪[5‑1]，与第一激光干涉仪[5‑1]配套的第一准直镜[6‑1]和第一光电探测器[7‑1]、第二激光干涉仪[5‑2]，与第二激光干涉仪[5‑2]配套的第二准直镜[6‑2]和第二光电探测器[7‑2]、第三激光干涉仪[5‑3]，与第三激光干涉仪[5‑3]配套的第三准直镜[6‑3]和第三光电探测器[7‑3]、第一光线分束器[8‑1]、第二光线分束器[8‑2]、第一光线直角反射镜[9‑1]、第二光线直角反射镜[9‑2]、第三光线直角反射镜[9‑3]和第四光线直角反射镜[9‑4]；所述X轴直线运动平台[17]位于双频激光发生器[4]和螺母夹持装置[2]之间，X轴直线运动平台[17]和双频激光发生器[4]之间设置第一激光干涉仪[5‑1]、第二激光干涉仪[5‑2]、第一光线分束器[8‑1]、第二光线分束器[8‑2]、第一光线直角反射镜[9‑1]、第二光线直角反射镜[9‑2]，其中第一光线直角反射镜[9‑1]和第二光线分束器[8‑2]靠近双频激光发生器[4]，第一激光干涉仪[5‑1]和第二激光干涉仪[5‑2]靠近X轴直线运动平台[17]，第一光线分束器[8‑1]和第二光线直角反射镜[9‑2]位于第二激光干涉仪[5‑2]和第二光线分束器[8‑2]之间；其中第一光线直角反射镜[9‑1]和第二光线分束器[8‑2]所在直线与第二光线直角反射镜[9‑2]和第一光线分束器[8‑1]所在直线平行，同时，第一光线直角反射镜[9‑1]和第二光线分束器[8‑2]所在直线与第一激光干涉仪[5‑1]和第二激光干涉仪[5‑2]所在直线平行，螺母夹持装置[2]的另一侧设置第三光线直角反射镜[9‑3]和第四光线直角反射镜[9‑4]，螺母夹持装置[2]与第四光线直角反射镜[9‑4]之间设置第三激光干涉仪[5‑3]，第三光线直角反射镜[9‑3]和第四光线直角反射镜[9‑4]所在直线与第一光线直角反射镜[9‑1]和第二光线分束器[8‑2]所在直线平行，螺母夹持装置[2]上设置待测件[19]；X轴直线运动平台[17]上设置测量杆[3]，测量杆[3]所在直线与第一光线直角反射镜[9‑1]和第二光线分束器[8‑2]所在直线垂直，所述测量杆[3]内安装有位于同一轴线的第一探头[20]和第二探头[21]，所述第一探头[20]内部装有第一光线缩束器[22]和第一反射镜[23]，第二探头[21]内部装有第二光线缩束器[25]和第二反射镜[24]，所述两个探头结构完全相同；其中第一准直镜[6‑1]位于第一激光干涉仪[5‑1]的入射镜面一侧且与之贴合，第一光电探测器[7‑1]位于第一激光干涉仪[5‑1]的正下方，用于接收返回的激光光线；第二准直镜[6‑2]位于第二激光干涉仪[5‑2]的入射镜面一侧且与之贴合，第二光电探测器[7‑2]位于第二激光干涉仪[5‑2]的正下方，用于接收返回的激光光线；第三准直镜[6‑3]位于第三激光干涉仪[5‑3]的入射镜面一侧且与之贴合，第三光电探测器[7‑3]位于第三激光干涉仪[5‑3]的正下方，用于接收返回的激光光线。