[发明专利]表面波等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201710378872.5 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN108933075B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 刘春明 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面波等离子体加工设备，其包括微波源和传输匹配机构，该传输匹配机构包括一体式结构的基片集成波导，该基片集成波导沿微波的传输方向依次分为多个功能区域，且在不同的功能区域中形成不同的波导结构，以实现不同的功能。本发明提供的表面波等离子体加工设备，其具有体积和重量小、能量损耗低、互耦效应低、边界条件连续的优点，从而不仅降低了微波匹配难度，而且简化了设备结构，降低了加工难度，从而降低了加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种表面波等离子体加工设备，包括微波源和传输匹配机构，其特征在于，所述传输匹配机构包括一体式结构的基片集成波导，所述基片集成波导沿微波的传输方向依次分为多个功能区域，且在不同的所述功能区域中形成不同的波导结构，以实现不同的功能。
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