[发明专利]一种微通道换热器及其制作方法有效
| 申请号： | 201710385095.7 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN107275299B | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 官勇;马盛林;曾清华;孟伟;陈兢;金玉丰 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01L23/473 | 分类号： | H01L23/473;H01L23/498;H01L21/48 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 邱晓锋 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微通道换热器及其制作方法，属于半导体结构制造领域。该微通道换热器包括第一衬底和第二衬底，第一衬底和第二衬底均具有相对的第一表面和第二表面，第一衬底具有贯穿其第一表面和第二表面的微通道，第二衬底在其第一表面上形成一定深度的通道；第一衬底的第一表面、第二表面以及微通道内设有第一绝缘层、导电层和第二绝缘层，导电层介于第一绝缘层和第二绝缘层之间；第一衬底的第一表面设有再布线层；第一衬底的第二表面和第二衬底的第一表面设有键合层，第一衬底和第二衬底通过键合层键合在一起。本发明的微通道兼具传热和导电的功能，能够提高微通道的散热效率和整个系统的热学可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 换热器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种微通道换热器，其特征在于，包括第一衬底和第二衬底，所述第一衬底和所述第二衬底均具有相对的第一表面和第二表面，所述第一衬底具有贯穿其第一表面和第二表面的微通道，所述第二衬底在其第一表面上形成一定深度的通道；所述第一衬底的第一表面、第二表面以及微通道内设有第一绝缘层、导电层和第二绝缘层，所述导电层介于所述第一绝缘层和所述第二绝缘层之间；所述第一衬底的第一表面设有再布线层；所述第一衬底的第二表面和所述第二衬底的第一表面设有键合层，所述第一衬底和所述第二衬底通过所述键合层键合在一起。
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