[发明专利]一种电镀金刚线切割硅片的方法

摘要

本发明提供了一种电镀金刚线切割硅片的方法，包括如下步骤：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制冷却液，（4）切割，（5）下料，（6）脱胶、清洗，（7）检测、包装；所述步骤（4）切割：所述切割由切割机架带动硅棒向电镀金刚线网移动，同时主辊带动电镀金刚线网作往复运动实现切割，所述电镀金刚线上金刚石颗粒密度200‑350颗/mm，切割过程中，电镀金刚线的切割张力为6‑16N，电镀金刚线的线速度为1200‑1800m/min，工件切割速度为0.8‑3.5 mm/min，切割液温度为18‑23℃，切割过程中，电镀金刚线采用逐渐递进法或先反向供给后正向供给的方式。采用本发明切割方法能够在2h以内完成对8.4inch、650‑700mm晶体硅棒的顺利切割。

主权项

1.一种电镀金刚线切割硅片的方法，包括如下步骤：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制冷却液，（4）切割，（5）下料，（6）脱胶、清洗，（7）检测、包装；所述步骤（1）粘棒：将燕尾结构与树脂板、树脂板与硅棒用粘胶粘接；所述步骤（2）上料：将步骤（1）中粘接成的整体通过燕尾结构装到上下料工装上，送入切片机；所述步骤（3）配制冷却液：将切割液、消泡剂、水按照质量比为1∶1∶200～1∶0.5∶350混合均匀后，倒入冷却液缸中；所述步骤（4）切割：所述切割由切割机架带动硅棒向电镀金刚线网移动，同时主辊带动电镀金刚线网作往复运动实现切割，所述电镀金刚线上金刚石颗粒密度200‑350颗/mm，切割过程中，电镀金刚线的切割张力为6‑16N，电镀金刚线的线速度为1200‑1800m/min，工件切割速度为0.8‑3.5 mm/min，切割液温度为18‑23℃，切割过程中，电镀金刚线采用逐渐递进法或先反向供给后正向供给的方式；所述切割速度分为三部分：进刀切割速度为1.5‑3.5mm/min，主切割速度为2‑3.5mm/min，出刀切割速度为0.8‑1.0mm/min；开始切割前，调节冷却液流量为0‑1L/min，上述流量对应切割深度设定为1‑10mm；当切割达到设定位置时，将冷却液流量调节到130‑170L/min。