[发明专利]一种电子束光学系统及增材制造装置有效
| 申请号： | 201710388114.1 | 申请日： | 2017-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN107039220B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 林峰;郭超;马旭龙 | 申请（专利权）人： | 清华大学天津高端装备研究院 |
| 主分类号： | H01J3/22 | 分类号： | H01J3/22;H01J3/32;B22F3/105;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 300300*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于3D打印技术领域，公开了一种电子束光学系统，包括均设有供电子束通过的束通孔且束通孔依次连通设置的聚焦系统、正偏转系统、负偏转系统以及偏转系统，正偏转系统的束通孔与负偏转系统的束通孔交错设置，所述电子束经聚焦系统射入，并依次经正偏转系统、负偏转系统以及偏转系统射出。本发明还公开了一种具有电子束光学系统的增材制造装置。通过在聚焦系统与偏转系统之间设置正偏转系统和负偏转系统，该正偏转系统和负偏转系统的束通孔交错设置，使得电子束通过的通道不是笔直贯通的，而是弯折的，进而在产生金属蒸汽时，金属蒸汽通过弯折通道后的量大大减少，有效地保护了阴极。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 光学系统 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束光学系统，其特征在于，包括均设有供电子束通过的束通孔（5）且所述束通孔（5）依次连通设置的聚焦系统（1）、正偏转系统（2）、负偏转系统（3）以及偏转系统（4），所述正偏转系统（2）的束通孔（5）与负偏转系统（3）的束通孔（5）交错设置，所述电子束经聚焦系统（1）射入，并依次经正偏转系统（2）、负偏转系统（3）以及偏转系统（4）射出；所述正偏转系统（2）和负偏转系统（3）之间设有连接件（6），所述连接件（6）上开设有连接孔（61），所述连接孔（61）用于将正偏转系统（2）的束通孔（5）以及负偏转系统（3）的束通孔（5）连通。
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