[发明专利]退火处理装置以及退火处理方法

摘要

本发明公开一种退火处理装置以及退火处理方法。该退火处理装置为晶系太阳能电池用的退火处理装置，包括加热室，具有用于对杂质掺杂的基板进行热处理的内部空间；以及前室，被配置为经由闸式阀与所述加热室的内部空间连通。所述加热室具备盒基座，放置盒支架，所述盒支架为在所述加热室的内部空间中，使多个以所述基板的表面和背面暴露的状态来保持所述基板的外周部的盒，在以规定的距离分隔开的状态下，多段重叠而成；以及气体供给单元，用于热处理。所述气体供给单元具有气体供给口，所述气体供给口朝向所述基板之间分隔开的空间且针对每个该空间为一个以上。

主权项

一种退火处理装置，为晶系太阳能电池用的退火处理装置，包括：加热室，具有用于对杂质掺杂的基板进行热处理的内部空间；以及前室，被配置为经由闸式阀与所述加热室的内部空间连通，所述加热室具备：盒基座，放置盒支架，所述盒支架为在所述加热室的内部空间中，使多个以所述基板的表面和背面暴露的状态来保持所述基板的外周部的盒，在以规定的距离分隔开的状态下，多段重叠而成；以及气体供给单元，用于热处理，所述气体供给单元具有气体供给口，所述气体供给口朝向所述基板之间分隔开的空间且针对每个该空间为一个以上。