[发明专利]流量控制装置和存储有流量控制装置用程序的存储介质有效
申请号: | 201710395239.7 | 申请日: | 2017-05-26 |
公开(公告)号: | CN107450612B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 瀧尻兴太郎;家城笃史;田中祐纪 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 鹿屹;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供流量控制装置和存储有流量控制装置用程序的存储介质。该流量控制装置具有良好的响应性,并且根据情况,操作者能够容易调整成与现有的流量控制装置等效的响应性。流量控制装置(100)对流体控制阀(3)进行反馈控制,使测量流量接近目标流量,该流量控制装置(100)具有:响应延迟输入部(43),用于输入响应延迟设定值,所述响应延迟设定值是表示想要设定的响应延迟的值;以及响应延迟生成部(46),根据所述响应延迟设定值生成所述反馈控制的响应延迟。 | ||
搜索关键词: | 流量 控制 装置 存储 程序 介质 | ||
【主权项】:
一种流量控制装置,对流体控制阀进行反馈控制,使测量流量接近目标流量,所述流量控制装置的特征在于具有:响应延迟输入部,用于输入响应延迟设定值,所述响应延迟设定值是表示想要设定的响应延迟的值;以及响应延迟生成部,根据所述响应延迟设定值生成所述反馈控制的响应延迟。
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