[发明专利]一种用于芯片除尘的装置在审
申请号: | 201710395893.8 | 申请日: | 2017-05-31 |
公开(公告)号: | CN107413769A | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 张文杰;谢亮;金湘亮 | 申请(专利权)人: | 江苏芯力特电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B15/04;B08B5/04;B08B13/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人: | 董建林,韩赛 |
地址: | 212415 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于芯片除尘的装置,包括箱体,箱体的前侧敞口并在敞口处设置箱门;还包括气泵;盘式喷头,设置于箱体内;电机,设置于箱体内;转盘,由电机驱动可转动地设置于箱体内;集尘室,设置在箱体两侧的外部;风机,设置于集尘室中;下夹条,设置于转盘上;上夹条,可调节地设置于下夹条的上方;螺栓,具有固定下夹条的螺纹段和滑动连接上夹条的非螺纹段;夹紧弹簧,一端连接至上夹条,另一端连接至螺栓从而将芯片夹在上夹条和下夹条之间;盘式喷头与气泵连接并且位于转盘的上方面朝转盘设置;箱体与集尘室连通,集尘室具有一出气管。本发明具有的有益效果通过高压气流对芯片进行吹屑,除尘过程不产生任何损耗确保较高的除尘率。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 除尘 装置 | ||
【主权项】:
一种用于芯片除尘的装置,包括箱体(1),所述箱体(1)的前侧敞口(1.1)并在敞口(1.1)处设置箱门;其特征在于:还包括:气泵;盘式喷头,设置于所述箱体(1)内;电机(4),设置于所述箱体(1)内;转盘(3),由所述电机(4)驱动可转动地设置于所述箱体(1)内;集尘室(5),设置在所述箱体(1)两侧的外部;风机,设置于所述集尘室(5)中;下夹条(12),设置于所述转盘(3)上;上夹条(13),可调节地设置于所述下夹条(12)的上方;螺栓(14),具有固定所述下夹条(12)的螺纹段和滑动连接所述上夹条(13)的非螺纹段;夹紧弹簧(15),一端连接至所述上夹条(13),另一端连接至所述螺栓(14)从而将芯片夹在所述上夹条(13)和所述下夹条(12)之间;所述盘式喷头与所述气泵连接并且位于所述转盘(3)的上方面朝所述转盘(3)设置;所述箱体(1)与所述集尘室(5)连通,所述集尘室(5)具有一出气管(6)。
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