[发明专利]一维闭环微纳米振动台有效
| 申请号： | 201710399333.X | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107175194B | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 李瑞君;雷英俊;张连生;范光照 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;G01H17/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种一维闭环微纳米振动台，是以铍铜簧片作为弹性部件，在铍铜簧片的上表面设置工作台面构成弹性结构，使工作台面仅能在竖直方向形成振动位移；在工作台面的底面设置转接板，转接板与压电陶瓷致动器的位移输出头呈T形连接，由压电陶瓷致动器通过转接板驱动工作台面竖向运动；利用迈克尔逊干涉仪实时检测转接板的运动状态作为检测信号，信号处理及控制系统根据检测信号对压电陶瓷致动器输出控制信号，实现实验台的闭环控制。本发明能够获得高精度的微纳振动，同时具有振幅和频率范围宽、输出振动重复性高、成本低、装调方便以及可以闭环控制等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 闭环 纳米 振动 | ||
【主权项】：
1.一种一维闭环微纳米振动台，其特征是包括：以铍铜簧片(3)作为弹性部件，铍铜簧片(3)的中央为圆形空腔，所述铍铜簧片(3)利用呈十字分布的簧片螺钉固定在底座(6)的上表面；工作台面(1)置于所述铍铜簧片(3)的上表面，并利用呈十字分布的台面螺钉固定在铍铜簧片(3)上，构成弹性结构，使所述工作台面(1)在水平面上获得限位，并能在竖直方向形成振动位移；所述底座(6)为底面封闭、顶面敞口的圆柱筒体，在圆柱筒体的底板上嵌装压电陶瓷致动器(4)；在工作台面(1)的底面固定设置转接板(2)，所述转接板(2)位于铍铜簧片(3)的中央圆形空腔内，转接板(2)与压电陶瓷致动器(4)的位移输出头(4a)呈T形连接，由压电陶瓷致动器(4)通过转接板(2)驱动工作台面(1)竖向运动；在所述底座(6)的圆柱筒体内安装迈克尔逊干涉仪(5)，利用迈克尔逊干涉仪(5)实时检测转接板(2)的运动状态作为检测信号，信号处理及控制系统根据检测信号对压电陶瓷致动器(4)输出控制信号，实现振动台的闭环控制。
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