[发明专利]多通道硅基开关滤波器组及其制作方法

摘要

本发明公开了一种多通道硅基开关滤波器组及其制作方法，涉及半导体和微电子器件技术领域，包括硅基载体层、硅基引线保护层、硅基外框层、硅基盖板层和开关芯片；本发明利用硅基MEMS工艺制作开关滤波器组，将开关芯片预埋在硅基载体层上，并采用硅基MEMS结构的叉指滤波器，硅基基板具有较高的介电常数，因此可以在硅基基板上制作小体积的滤波器，同时采用带状线结构，应用MEMS工艺加工的滤波器，进一步减小了滤波器组的体积，借助高精度半导体加工工艺，可以实现微米级加工误差，从而提高滤波器组的性能，滤波器组采用开关芯片，降低了滤波器组的耗能。

主权项

1.一种多通道硅基开关滤波器组，其特征在于：包括硅基载体层(1)、硅基引线保护层(2)、硅基外框层(3)、硅基盖板层(4)和开关芯片(6)；硅基载体层(1)、硅基引线保护层(2)、硅基外框层(3)和硅基盖板层(4)自下而上依次堆叠连接，硅基载体层(1)、硅基引线保护层(2)、硅基外框层(3)和硅基盖板层(4)均设有通孔(7)，硅基载体层(1)、硅基引线保护层(2)、硅基外框层(3)和硅基盖板层(4)上表面均设有金属层(5)；开关芯片(6)安装在硅基载体层(1)上，开关芯片(6)通过引线和硅基引线保护层(2)连接，硅基引线保护层(2)和硅基外框层(3)之间设有滤波器。