[发明专利]一种耐BOE腐蚀的金属掩膜制备方法有效
| 申请号： | 201710399984.9 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107299318B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 马日红;毕小伟;梁德春;马跃飞;刘福民 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/35;C23C14/02;C03C17/40 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 马全亮 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种耐BOE腐蚀的金属掩膜制备方法，特别是在石英晶体上镀制耐BOE腐蚀的金属掩膜层的制备方法。本发明具体包括清洗步骤和镀膜步骤。本发明的显著效果是：①实现了用单层Cr/Au掩膜层进行耐BOE腐蚀工艺；②解决了现有Cr/Au掩膜层腐蚀后出现表面钻蚀，鼓包，甚至脱落等问题；③单层Cr/Au掩膜层转移光刻图形精度高，可以控制在1um以内；④制备工艺过程简单，易于控制，制备成本低廉，适合批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 boe 腐蚀 金属 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种耐BOE腐蚀的金属掩膜制备方法，步骤如下：步骤a：对待镀膜的目标物进行清洗；步骤b；对清洗之后的目标物进行镀膜处理；其特征在于：进行镀膜处理时，采用单层Cr/Au掩膜；所述步骤a具体为：将目标物置于浓硫酸和双氧水混合清洗液中浸泡；所述混合清洗液温度为110℃～130℃，浸泡时间15～30min；步骤b具体包括如下步骤：(1)将清洗之后的目标物放入溅射镀膜设备中，进行抽真空处理；(2)采用磁控溅射的方式镀Cr膜；溅射气体为N2和Ar的混合气，N2和Ar的混合气中N2所占体积比为40％～60％；(3)采用磁控溅射的方式镀Au膜；(4)对镀膜之后的目标物进行自然冷却。
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