[发明专利]一种颗粒检测装置及方法有效
| 申请号： | 201710400547.4 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108982536B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 贾俊伟;周静怡 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种颗粒检测装置及方法，通过分束镜将入射激光变为第一激光束和第二激光束，将第二激光束通过光束延时器延后其时序，在一个颗粒检测行程中，第一激光束与第二激光束具有时序的相位差，进而第一检测器和第二检测器接收第一检测激光和第二检测激光也具有时序的相位差，不仅减少了激光发射器的数量同时减少了颗粒检测行程次数，提高了颗粒检测的效率，而且避免了第一检测激光对第二检测器的干扰及第二检测激光对第一检测器的干扰，提高了颗粒检测的精确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 颗粒 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种颗粒检测装置，用于检测物料的第一检测面和第二检测面的颗粒度，其特征在于，包括：一激光发射器，用于提供入射激光；分束镜，用于将所述入射激光进行折射和反射后生成第一激光束和第二激光束；用于产生延时周期的光束延时器，用于将所述第二激光束进行透射后生成第三激光束，所述第三激光束的时序比所述第二激光束延后一个所述延时周期T；第一入射镜组和第二入射镜组，所述第一入射镜组将第一激光束折射和/或反射至所述第一检测面，所述第二入射镜组将所述第三激光束折射和/或反射至所述第二检测面；用于检测所述第一检测面反射的所述第一激光束信号的第一检测器，用于检测所述第二检测面反射的所述第三激光束信号的第二检测器。
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