[发明专利]一种用于清洗多晶厚片料工装及其加工方法

摘要

本发明涉及一种用于清洗多晶厚片料工装，属于硅片清洗技术领域。该用于清洗多晶厚片料工装，包括底板、中央挡板和侧挡板，底板上均匀间隔开设有第一通孔，中央挡板上均匀间隔开设有第二通孔，侧挡板上均匀间隔开设有第三通孔，中央挡板沿底板中间的长度方向与底板垂直固接，中央挡板的长度与底板的长度相等，底板上均匀间隔开设有侧挡板固定槽，侧挡板固定槽的长度方向与底板的宽度方向平行，侧挡板通过侧挡板固定槽与底板垂直卡接，侧挡板远离中央挡板的一端与底板的边缘平齐。本发明的用于清洗多晶厚片料工装可以直接放置在全自动清洗机花篮中操作，可以做到全自动清洗机清洗片料，降低工人劳动强度，提高生产效率和经济效益。

主权项

一种用于清洗多晶厚片料工装，其特征在于：包括长方形的底板、长方形的中央挡板和侧挡板，所述底板上均匀间隔开设有第一通孔，所述中央挡板上均匀间隔开设有第二通孔，所述侧挡板上均匀间隔开设有第三通孔，所述中央挡板沿底板中间的长度方向与所述底板垂直固接，所述中央挡板的长度与所述底板的长度相等，所述底板上均匀间隔开设有侧挡板固定槽，所述侧挡板固定槽的长度方向与所述底板的宽度方向平行，所述侧挡板至少有一个，所述侧挡板通过侧挡板固定槽与所述底板垂直卡接，所述侧挡板远离中央挡板的一端与所述底板的边缘平齐。