[发明专利]基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法及其系统

摘要

本发明公开了一种基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法及其系统以及一种可供检测一板材的系统，其中，该透明板材具有相对平行的一受测的第一表面及一未受测的第二表面，其包含有一能发出光线的光源、一供接收光线的影像传感器及一遮蔽光线的光栅，该光源与该影像传感器等角分设于受测的第一表面的界面法线的两侧，光栅设于光源及影像传感器与透明板材间，该光栅上形成有位于界面法线两侧等角的入射通道与反射通道，藉此，利用光栅的设计，使透明板材所反射的反射光线中只有受测第一表面的一次反射光线能被影像传感器接收成像，有效的滤除了非受测表面的二次反射光线或二次以上的反射光线，不致使上、下表面的影像相互干扰。

主权项

1.一种基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法，该方法用于检测一透明板材的表面污染，其特征在于，该透明板材具有相对平行的一受测的第一表面及一未受测的第二表面，该方法至少包含以下步骤：(a)、于一透明板材的受测表面一侧提供一光源：该光源相对透明板材表面的界面法线间形成有一夹角；(b)、提供一入射通道，供形成一射向透明板材受测表面的入射光线：令该入射光线于透明板材的受测表面上形成一等角的一次反射光线，且于穿出该透明板材的未测表面形成折射后的二次或二次以上反射光线；(c)、提供一反射通道，供相对该射向透明板材受测表面的入射光线反射的一次反射光线通过：该反射通道的宽度介于界面法线与经该透明板材反射的二次反射光线之间且不超过该第二反射光线；(d)、利用一影像传感器撷取经反射通道的一次反射光线；以及(e)、使透明板材相对光源、影像传感器及光栅运动而形成透明板材的受测表面的画面，供判读污染。