[发明专利]具有压电致动的MEMS设备、投射MEMS系统以及相关驱动方法

摘要

本发明涉及具有压电致动的MEMS设备、投射MEMS系统以及相关驱动方法。一种MEMS设备，包括：固定的结构和悬置的结构，悬置的结构包括内部结构以及第一臂和第二臂，第一臂和第二臂中的每一个具有对应第一端和对应第二端，第一端被固定至固定的结构并且相隔一定距离成角度地安排，第二端被固定至内部结构，相隔一定距离成角度地安排并且相对于这些相应第一端在同一旋转方向上成角度地安排。MEMS设备进一步包括多个压电致动器，多个压电致动器中的每一个可被驱动，以便引起相应臂的变形，因此引起内部结构的旋转。在静止状况下，第一臂和第二臂中的每一个包括具有对应凹陷的对应细长部分。内部框架在第一臂和第二臂的这些细长部分的这些凹陷内部分地延伸。

主权项

1.一种MEMS设备，包括固定的结构(22)，所述固定的结构界定了腔体(24)；以及悬置的结构(26)，所述悬置的结构覆盖所述腔体并且包括：‑内部结构(29；109)；以及‑至少一个第一臂(B1)以及一个第二臂(B2)，所述第一臂和所述第二臂被安排在所述内部结构周围并且各自具有对应第一端和对应第二端，所述第一端被固定至所述固定的结构并且相隔一定距离成角度地安排，所述第二端被固定至所述内部结构，相隔一定距离成角度地安排并且相对于相应第一端在同一旋转方向上成角度地安排；以及‑多个压电致动器(50，52，54，56)，所述压电致动器中的每一个耦合至所述第一臂或耦合至所述第二臂，并且可被驱动以便引起其所耦合至的所述臂的变形以及所述内部结构的随后旋转；并且其中，在静止状况下，所述第一臂和所述第二臂中的每一个具有带有对应凹陷的对应细长部分(30，32)，所述内部结构在所述第一臂和所述第二臂的所述细长部分的所述凹陷内部分地延伸。