[发明专利]研磨垫及研磨方法有效
| 申请号： | 201710403043.8 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107471088B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 简毅;施文昌;白昆哲;陈劲弛 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫包括研磨层以及检测窗。检测窗位于研磨层中。其中在温度30℃时，检测窗的模数大于研磨层的模数；以及在温度50℃时，检测窗的模数小于研磨层的模数。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，其特征在于，包括：研磨层；以及检测窗，位于所述研磨层中，其中在温度30℃时，所述检测窗的模数大于所述研磨层的模数；以及在温度50℃时，所述检测窗的模数小于所述研磨层的模数，其中所述模数定义为应力除以应变。
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