[发明专利]一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪在审
| 申请号： | 201710404698.7 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107289919A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 赵玉龙;徐瀚洋;姜开春 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/00 | 分类号： | G01C19/00;G01C9/10 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，包括通过UV胶黏剂封装的上基板和下基板，上基板的下表面有环形的沟槽通道，沟槽通道的侧壁设有疏水层；下基板的上表面包括两条平行的环形电阻，环形电阻末端连接有金属引线板；环形沟槽内设有水银液滴；封装过程中，控制环形电阻处于上基板沟槽通道的内部且处于沟槽通道的中间位置，本发明通过水银液滴在不同倾角下的位置变化，来导通不同长度的环形电阻得到变化的电阻信号，实现对角度的连续测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环形 电阻 mems 液体 角度 陀螺仪 | ||
【主权项】：
一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，其特征在于：包括通过UV胶黏剂封装的上基板(1)和下基板(3)，上基板(1)的下表面有环形的沟槽通道(2)，沟槽通道(2)的内壁设有疏水层(7)；下基板(3)的上表面包括两条平行的环形电阻(4)，环形电阻(4)末端连接有金属引线板(6)；环形沟槽(2)内设有水银液滴(5)；封装过程中，控制环形电阻(4)处于上基板(1)沟槽通道(2)的内部且处于沟槽通道(2)的中间位置。
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