[发明专利]石墨烯电极及其图案化制备方法，阵列基板

摘要

本发明公开了一种石墨烯电极及其图案化制备方法，阵列基板。在石墨烯电极图案化的制备方法中，首先依次在基板上形成氧化石墨烯和光刻胶，其次将紫外光通过掩膜板对光刻胶进行显影，再次利用显影液对曝光后的光刻胶进行显影，然后对相应后暴露出的氧化石墨烯进行还原，最后将剩余的光刻胶进行剥离，即得到图案化的石墨烯电极。石墨烯电极为利用上述石墨烯电极图案化的制备方法制备的石墨烯电极。阵列基板为利用上述方法制得的石墨烯电极作为电极材料制备的。本发明方法的工艺过程简单、图案化制备难度小、成本低，同时还可以避免在制备过程中降低石墨烯电极的质量。

主权项

一种石墨烯电极的图案化制备方法，包括：在基板上依次形成氧化石墨烯层和光刻胶层；利用掩膜工具对所述光刻胶层进行曝光；对曝光后的光刻胶层进行显影；对裸露的氧化石墨烯层进行还原；对剩余的曝光后的光刻胶进行剥离，以获得图案化的石墨烯电极。