[发明专利]一种光学膜厚监控装置及监控方法在审
| 申请号： | 201710425177.X | 申请日： | 2017-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN107218895A | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 孟小龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G05D5/03 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建,何娇 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种光学膜厚监控装置及监控方法，用于监控涂布基板上的涂层厚度，所述监控装置包括光感测系统和处理器，所述光感测系统与所述处理器电性连接；其中，所述光感测系统用于检测预涂滚筒上的涂层厚度，所述处理器用于根据所述预涂滚筒上的涂层厚度获取所述涂布基板上的涂层厚度。该装置通过将光学膜厚监控装置设置在预涂滚筒上以实时监控预涂滚筒上的涂层厚度，从而根据预涂滚筒上的涂层厚度获取涂布基板上的涂层厚度，实现了涂层厚度的实时监控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 监控 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光学膜厚监控装置，用于监控涂布基板上的涂层厚度，其特征在于，所述监控装置包括光感测系统和处理器，所述光感测系统与所述处理器电性连接；其中，所述光感测系统用于检测预涂滚筒上的涂层厚度，所述处理器用于根据所述预涂滚筒上的涂层厚度获取所述涂布基板上的涂层厚度。
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