[发明专利]靶材的包装方法和包装工具有效

专利信息
申请号: 201710426819.8 申请日: 2017-06-08
公开(公告)号: CN109018702B 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;阮力超 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B65D81/20 分类号: B65D81/20;B65D59/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 徐文欣;吴敏
地址: 315400 浙江省宁波*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供一种靶材的包装方法和包装工具,其中,所述靶材包括溅射面和位于所述靶材溅射面内的沟槽,所述包装方法包括:保护体,所述保护体包括接触面,所述保护体包括中心区域,所述中心区域保护体的接触面用于与所述靶材溅射面贴合;位于所述中心区域保护体的接触面上的卡件,所述卡件用于放置于所述沟槽中。所述靶材的溅射面与所述保护体的接触面贴合,所述保护体能够减小靶材在沿垂直于所述溅射面方向上的变形。使所述卡件置于所述沟槽中,所述卡件能够对所述沟槽两侧的靶材进行支撑,从而抑制所述靶材沿平行于所述溅射面的方向发生变形。因此,所述靶材包装方法能够减小靶材的变形。
搜索关键词: 包装 方法 工具
【主权项】:
1.一种靶材包装工具,所述靶材包括溅射面和位于所述靶材溅射面内的沟槽,其特征在于,包括:保护体,所述保护体包括接触面,所述保护体包括中心区域,所述保护体的中心区域接触面用于与所述靶材溅射面贴合;位于所述中心区域保护体的接触面上的卡件,所述卡件用于放置于所述沟槽中。
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