[发明专利]电感式压力传感器及压力测量电路

摘要

本发明适用于传感器技术领域，提供了一种电感式压力传感器及压力测量电路，包括：具有第一空腔的衬底、可动薄膜和电感线圈；电感线圈设置在衬底的第一空腔上部，电感线圈的两端分别设置在衬底上，电感线圈与衬底的接触部分设置有绝缘介质层；可动薄膜设置在电感线圈的下部，可动薄膜与电感线圈之间形成第二空腔，可动薄膜与衬底的第一空腔的内壁连接，可动薄膜与电感线圈通过支撑部件连接。当可动薄膜受到压力时，可动薄膜的位置发生变化，与可动薄膜连接支撑部件位置发生变化，进而带动与支撑部件连接的电感线圈的形状发生变化，由于设计支撑部件处于可动薄膜上，可以达到使电感线圈的电感值变化量较大的目的，进而使本发明电感式传感器的灵敏度较高。

主权项

1.一种电感式压力传感器，其特征在于，包括：具有第一空腔的衬底、可动薄膜和电感线圈；所述电感线圈设置在所述衬底的第一空腔上部，所述电感线圈的两端分别设置在所述衬底上，所述电感线圈与所述衬底的接触部分设置有绝缘介质层；所述可动薄膜设置在所述电感线圈的下部，所述可动薄膜与所述电感线圈之间形成第二空腔，所述可动薄膜与所述衬底的第一空腔的内壁连接，所述可动薄膜与所述电感线圈通过支撑部件连接。