[发明专利]能够供电至阳极的供电体及镀覆装置有效
| 申请号： | 201710433535.1 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN107488869B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 藤方淳平 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/12 | 分类号： | C25D17/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;沈静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够供电至阳极的供电体及镀覆装置，在阳极进行溶解时，与现有技术相比能够降低供电体与阳极的接触状态的恶化。供电体能够供电至在镀覆槽内对基板进行镀覆时使用的阳极(5)，该供电体具有：能够配置在阳极(5)的外周的主体部(1)；和配置在主体部(1)且能够在从主体部(1)朝向主体部(1)所包围的区域(80)的方向上对主体部(1)施加第1力(100)的弹簧(82)。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 供电 至阳 镀覆 装置 | ||
【主权项】：
一种供电体，能够供电至在对基板进行镀覆时使用的阳极，其特征在于，具有：主体部，其能够配置在所述阳极的外周；和加力构件，其配置在所述主体部，能够在从所述主体部朝向所述主体部所包围的区域的方向上对所述主体部施加第1力。
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