[发明专利]半导体生产用温控设备在审
| 申请号： | 201710434627.1 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN109032201A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 何茂栋;芮守祯;刘紫阳;张申;孙华敏;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19;G05D23/185;G05D23/30;F25B43/00;F25B41/00 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 辛自强;陈庆超 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及一种半导体生产用温控设备，用于控制负载设备的温度，所述温控设备包括制冷系统、预冷器和循环水泵，所述预冷器串联在第一厂务水支路上，所述制冷系统包括串联成冷却液回路的压缩机、冷凝器、电子膨胀阀和蒸发器，所述蒸发器还与所述预冷器、所述循环水泵、所述负载设备串联形成循环液回路，且所述预冷器位于所述蒸发器的上游。在本公开中的温控设备中，循环液进入温控设备后，首先通过预冷器与温度较低的厂务水进行换热，利用低温的厂务水来预冷循环液，然后再通过制冷系统进一步冷却循环液。以此方式，能够降低制冷系统的负载量，降低温控设备的输入功率，达到节能效果。 | ||
| 搜索关键词： | 温控设备 预冷器 制冷系统 蒸发器 串联 半导体生产 循环水泵 电子膨胀阀 冷却循环液 冷却液回路 循环液回路 负载设备 节能效果 控制负载 输入功率 预冷循环 负载量 冷凝器 循环液 压缩机 换热 上游 | ||
【主权项】：
1.一种半导体生产用温控设备，用于控制负载设备(12)的温度，其特征在于，所述温控设备包括制冷系统、预冷器(8)和循环水泵(10)，所述预冷器(8)串联在第一厂务水支路上，所述制冷系统包括串联成冷却液回路的压缩机(1)、冷凝器(2)、电子膨胀阀(4)和蒸发器(5)，所述蒸发器(5)还与所述预冷器(8)、所述循环水泵(10)、所述负载设备(12)串联形成循环液回路，且所述预冷器(8)位于所述蒸发器(5)的上游。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京仪自动化装备技术有限公司，未经北京京仪自动化装备技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710434627.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
