[发明专利]太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备

摘要

本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其是涉及一种太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备。太阳能电池镀膜设备包括传输装置、预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；传输装置用于将载板依次传输至预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；预热腔室的出口与氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，第一封闭腔室的内部设置有第一隔离机构，第一隔离机构用于使预热腔室与氧化腔室连通或断开；氧化腔室的出口与镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，第二隔离机构用于使氧化腔室与镀膜腔室连通或断开。本发明能够在一个设备中连续对硅片进行镀膜，无需对硅片反复上料和下料，从而降低了硅片的污染程度和破碎率。

主权项

1.一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于：包括传输装置、预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；所述传输装置用于将载板依次传输至所述预热腔室、所述氧化腔室和所述镀膜腔室；所述预热腔室的出口与所述氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，所述第一封闭腔室的内部设置有第一隔离机构，所述第一隔离机构用于使所述预热腔室与所述氧化腔室连通或断开；所述氧化腔室的出口与所述镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，所述第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，所述第二隔离机构用于使所述氧化腔室与所述镀膜腔室连通或断开；所述氧化腔室的内部设置有等离子体发生器和第一加热装置，所述等离子体发生器位于所述氧化腔室的进口处，所述第一加热装置位于所述传输装置的上方，用于对硅片进行加热；所述氧化腔室的底板上设置有用于与真空泵连通的抽口，所述抽口靠近所述氧化腔室的出口处。