[发明专利]一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法以及电池片制备工艺在审
| 申请号： | 201710436656.1 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107177890A | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 李跃;张冠伦;吴俊旻;常青;尹丙伟;薛娟;扈静 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（合肥）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所53113 | 代理人： | 张玺 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，包括以下步骤步骤1)配制初配液；步骤2)添加初配液；步骤3)加入添加剂；步骤4)放入电池片。本发明还公开了一种电池片制备工艺，包括以下步骤S1、制绒；S2、扩散；S3、刻蚀；S4、镀膜；S5、丝印。本发明通过对制绒液配方、制绒的工艺参数以及制绒过程速度进行有效的调控，并且添加了无醇制绒添加剂，可以降低制绒液表面张力，提高制绒液在硅片表面的铺展性，从而使制绒反应更加均匀，得到更好的减反制绒效果；并且将此制绒方法用于电池片的制备工艺中，可以在后期PECVD镀膜时更加有利于膜色的均匀分布，从而使得金刚线切割后的多晶硅片的电性能得到进一步提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 多晶 硅片 方法 以及 电池 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)配制初配液：将HF：HNO3：DI水按照1：5：2的比例进行制配；步骤2)添加初配液：将步骤1)中配制好的初配液加入到制绒槽中，并调整制绒槽带速为1.2、温度为12℃；步骤3)加入添加剂：按一定速率向制绒槽内加入无醇制绒添加剂；步骤4)放入电池片：将多晶硅片放入制绒槽内进行制绒。
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