[发明专利]分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪有效
| 申请号： | 201710437902.5 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107144361B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 闫亚东;何俊华;王峰;许瑞华;齐文博;王维 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J11/00 | 分类号： | G01J11/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于光学测量技术领域，具体涉及一种分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪，其结构包括照明光源、照明分束镜、成像镜头、中间像面和信号分束镜，照明光源发出的激光经照明分束镜反射后再经过成像镜头聚焦于靶面，由靶面反射的多普勒信号光经成像镜头会聚于中间像面，然后经信号分束镜分束后进入多个测量分支，测量分支包括沿光路传播方向设置的准直镜、干涉仪、会聚镜和条纹相机；条纹相机是不带狭缝的条纹相机，中间像面上设置有狭缝。本发明通过设置共用狭缝可以实现多台条纹相机具有绝对一致的待测目标。在多灵敏度测量并联立求解时，能够更精准地确立重叠解，避免了多灵敏度测量因目标瞄准误差导致的计算错误。 | ||
| 搜索关键词： | 分支 目标 一致 灵敏度 任意 反射 表面 速度 干涉仪 | ||
【主权项】：
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