[发明专利]一种柔性外延铁电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种制备柔性外延铁电薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)采用激光脉冲沉积法制备钙钛矿结构氧化物钌酸锶底电极；2)采用溶胶凝胶法制备铁电薄膜的前驱体溶液，其中，前驱体溶液的浓度为0.1～0.5mol/L，铁电薄膜材料选自锆钛酸铅、钛酸钡或铁酸铋中的任意一种；3)柔性外延铁电薄膜的制备，采用旋涂法在上述钌酸锶底电极上旋涂前驱体溶液，得到均匀湿膜；4)将上述制得的均匀湿膜进行干燥、热解、退火处理；5)重复步骤3)‑4)3～8次即得到目标柔性外延铁电薄膜，所述薄膜的厚度为100nm～300nm。本发明提供了一种工艺简单、铁电性能优异的柔性外延薄膜制备方法。

主权项

1.一种制备柔性外延铁电薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n1)采用激光脉冲沉积法制备钙钛矿结构氧化物钌酸锶底电极；/n2)采用溶胶凝胶法制备铁电薄膜的前驱体溶液，其中，前驱体溶液的浓度为0.1～0.5mol/L，所述铁电薄膜材料为锆钛酸铅，其中所述锆钛酸铅薄膜材料中Pb、Zr、Ti物质的量之比为1:(0.2～0.7):(0.3～0.8)；/n3)柔性外延铁电薄膜的制备，采用旋涂法在上述钌酸锶底电极上旋涂前驱体溶液，得到均匀湿膜；/n4)将上述制得的均匀湿膜进行干燥、热解、退火处理；/n5)重复步骤3)-4)3～8次即得到目标柔性外延铁电薄膜，所述薄膜的厚度为100nm～300nm。/n