[发明专利]一种薄膜晶体管、其制作方法及显示装置有效
| 申请号： | 201710438465.9 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107170830B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张帅;李栋 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜晶体管、其制作方法及显示装置，用以解决现有的柔性显示屏中，层间介质层的厚度较厚，容易在弯曲过程中造成断裂，导致源漏极层金属线发生断线的问题。该薄膜晶体管包括：衬底基板，设置在衬底基板上的有源层，源漏极层，以及设置在有源层和源漏极层之间的绝缘层；其中源漏极层通过绝缘层上的过孔与有源层进行连接；绝缘层材料包括储氢材料。本发明中的薄膜晶体管，在有源层和源漏极层之间设置有由储氢材料制作的绝缘层，绝缘层中存储的氢原子可以为有源层提供氢原子，因此可以省略后续层间介质层的制作，同时具有柔性的绝缘层相比于由无机材料制作的层间介质层，其柔韧性更强，在弯曲时不容易断裂，因而可以提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：衬底基板，设置在所述衬底基板上的有源层，源漏极层，以及设置在所述有源层和所述源漏极层之间的绝缘层；其中，所述源漏极层通过所述绝缘层上的过孔与所述有源层进行连接；所述绝缘层的材料包括储氢材料。
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